外置式高精度氣體配比器 主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制 精度高 抗干擾能力強 根據(jù)客戶要求隨意修改
該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用 CS200 或 CS100 質(zhì)量流量計,氣路管道采用 316 拋光管制作耐腐蝕性強.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連
接且不易泄漏
外置式高精度氣體配比器 ：可選配七星各種系列流量計，觸摸屏控制調(diào)節(jié)不同時間不同流量氣體，操控簡單，
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項技術(shù)指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。
? 準確度采用設定點精度，產(chǎn)品精度可達±1.0% S.P.，響應時間≤ 0.5sec。
? CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準確性。
外置式高精度氣體配比器 技術(shù)資料
產(chǎn)品型號 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS |
氣體通道 | 4進1出 | 4進1出 |
可根據(jù)需求定制 | ||
產(chǎn)品類型 | 高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制 | |
可選量程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) | |
產(chǎn)品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S |
重復精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S |
線性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. |
響應時間 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C | |
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz | |
功耗 | 40W | |
進氣口壓 | ≤0.6MPa | |
連接管道 | 316不銹鋼管道 | |
截止閥類型 | 電磁閥 | |
單向閥開啟壓力 | 0.02Mpa | |
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa | |
控制方式 | 7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié) | |
時間設定 | 0-32000分鐘 | |
清洗功能 | 一鍵清洗 | |
程序控制 | 5段可編程序(時間-流量隨意設定值) | |
壓力顯示 | 有（出氣壓力檢測且有壓力上限設置過壓切斷總輸出氣路） | |
氣體混合罐 | 有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻） | |
氣體加熱 | 無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)） | |
流量累計 | 有（累計當前運行總流量） | |
可選進出氣口接頭形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | |
抗電磁干擾 | 有 | |
外形尺寸 | 550x380x400mm | |
重量 | 18KG～20KG | |
