紫外臭氧清洗機(jī)原理：

通過(guò)紫外燈發(fā)出適當(dāng)強(qiáng)度的185nm和254nm波長(zhǎng)高能紫外線破壞有物分子(污染物)。185nm波長(zhǎng)紫外光的光能量能將空氣中的氧氣(O2)分解成臭氧(O3)，而254nm波長(zhǎng)的紫外光的光能量能將O3分解成O2和原子氧(O)，  254 nm紫外線同時(shí)激發(fā)表面的有機(jī)物分子，提高其敏感性，可以被臭氧分子團(tuán)破壞。在連續(xù)進(jìn)行的光敏氧化反應(yīng)中，生成的活性原子氧(O)與活化了的有機(jī)物(即碳?xì)浠衔?分子發(fā)生氧化反應(yīng)，生成揮發(fā)性氣體(如CO2，CO, H2O,NO等)逸出材料表面，從而清除粘附在材料表面上的碳和有機(jī)污染物，達(dá)到清洗的目的。

應(yīng)用領(lǐng)域：

u 石英/玻璃制品的表面清洗：液晶面板,等離子電視屏幕,彩色過(guò)濾片,光罩,棱鏡,透鏡,反射鏡,平板電視等。

u 微電子產(chǎn)品的表面清洗：微型馬達(dá)軸,磁頭驅(qū)動(dòng)架,光盤(pán),光電器件,手機(jī)攝像頭,微型喇叭/受話器震膜,半導(dǎo)體硅片,掩膜版。

u 精密集成電路的表面清洗：液晶顯示器ITO,精密電路板,軟性電路板接頭,BGA基板的清洗,COG的清洗,COF(ILB)接合面的清洗,薄膜基板的清洗,金屬基板的清洗,BGA基板與粘結(jié)墊的清洗。

u 在膠粘接或是印刷之前，對(duì)高分子聚合制品的表面改性：橡膠粘接，塑料汽車(chē)部件，透鏡保護(hù)膜,塑料薄膜,樹(shù)脂成型空氣袋,IC包裝,注射針接合部分的表面性,介入導(dǎo)管的表面改型等。

u 科研過(guò)程的表面清洗及處理：半導(dǎo)體，生物芯片，納米材料，聚合物，光化學(xué)等。

產(chǎn)品特點(diǎn)

u 基礎(chǔ)型系列采用可編程數(shù)字控制器，設(shè)置操作簡(jiǎn)單方便，四鍵操作控制。P、T系列采用5寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面，設(shè)置顯示計(jì)時(shí)時(shí)間及加熱溫度。

u 自動(dòng)補(bǔ)償功能，自動(dòng)恒定光強(qiáng)光密度，不會(huì)因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果。

u 數(shù)字倒計(jì)時(shí)顯示清洗時(shí)間，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間。

u 任何時(shí)間可以手動(dòng)中斷處理過(guò)程。

u 自動(dòng)記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。

u 樣品臺(tái)可控溫（可選），控溫范圍RT-200℃，控溫精度0.1℃。

u 頂置下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)蓋方式，操作簡(jiǎn)單方便。

u 上置式樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，360度自由放置樣品，操作方便。

u 樣品臺(tái)高度可調(diào)，通過(guò)調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。

u UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時(shí)。

u 高強(qiáng)度UV燈源，波長(zhǎng)185nm和254nm。

u 可累計(jì)計(jì)時(shí)UV格柵燈使用時(shí)長(zhǎng)，更換提示。

u UV反射罩（長(zhǎng)X寬）比UV格柵燈大25mm。

u 雙重安全保護(hù)，帶有安全鎖，當(dāng)清洗腔打開(kāi)時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)掉UV燈，并有燈光通斷提示。

u 帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計(jì)。

u 可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產(chǎn)量。

u 5（型號(hào)）可選外置臭氧中和器，9（型號(hào)）、13（型號(hào)）系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器，用于臭氧清除。

u 可根據(jù)客戶(hù)要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。

技術(shù)參數(shù)