等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、線 路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，主要用 于材料表面進(jìn)行清洗、改性、刻蝕等目的。
產(chǎn)品特點(diǎn)
u 7寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。
u PLC控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
u 采用美國德威爾（Dwyer）氣體浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)(CPC-FM)，可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣或混合?/span>等氣體，氣體控制精準(zhǔn)。
u 氣體返填吹掃，HEPA高效過濾，防止二次污染。
u 316不銹鋼、石英真空艙可選擇，全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。
u 采用60度傾角操作面板設(shè)計(jì)，符合人體功能學(xué)，操作方便，界面友好。
u 上控制下艙體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間小。
u 內(nèi)凹式前面板設(shè)計(jì)，有效保護(hù)流量計(jì)和艙門不易損壞。
u 處理快速高效均勻，無污染，工藝重復(fù)性好。
u 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。
安全保護(hù)，艙門打開，自動關(guān)閉電源
技術(shù)參數(shù)
型號 | E系列 | Eplus | F系列 | Fplus | FM | FMplus | ||
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | ||
射頻功率 | 10-300W | 10-150W | 10-600W | 10-150W | 10-600W | 10-150W | ||
匹配器 | 自動匹配器 | 自動匹配器 | 自動匹配器 | |||||
激發(fā)方式 | 電容式或電感耦合（ICP） | 電容式或電感耦合（ICP） | 電容式或電感耦合（ICP） | |||||
氣體控制 | 單浮子流量計(jì) | 雙浮子流量計(jì) | 單路MFC（可選兩路） | |||||
艙體尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm | |||||
艙體材質(zhì) | 不銹鋼或石英玻璃 | 不銹鋼或石英玻璃 | 不銹鋼或石英玻璃 | |||||
艙體容積 | 3.8L | 3.8L | 3.8L | |||||
有效處理尺寸 | L200xW155mm | L200xW155mm | L200xW155mm | |||||
時間設(shè)定 | 9999秒 | 9999秒 | 9999秒 | |||||
真空泵 | 抽速4m3/h | 抽速4m3/h | 抽速4m3/h | |||||
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | 1分鐘 | 1分鐘 | |||||
真空度 | 100pa以內(nèi) | 100pa以內(nèi) | 100pa以內(nèi) | |||||
電 源 | AC220V 50/60Hz 766/316W | AC220V 50/60Hz 766/316W | AC220V 50/60Hz 752/302W | |||||
產(chǎn)品尺寸 | L440xW410xH455mm | L440xW410xH455mm | L440xW410xH455mm | |||||
包裝尺寸 | L560xW560xH685mm | L560xW560xH685mm | L560xW560xH685mm | |||||
整機(jī)重量 | 32kg | 32kg | 32kg | |||||
