速度提升1.5倍
UVISEL Plus集成了的FastAcqTM快速采集技術(shù),可在3分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測試(190-2100 nm),校準(zhǔn)僅需幾分鐘。
靈敏度提升2倍
基于25年經(jīng)驗(yàn),UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制,可用于各種樣品的精確測量,的FastAcqTM速采集技術(shù)使得測試靈敏度提高至原有的兩倍,從而能獲得面薄膜和納米級低襯度襯底樣品的更多信息。
靈活拓展
UVISEL Plus橢偏儀模塊化設(shè)計(jì),可靈活拓展,以適應(yīng)的應(yīng)用及預(yù)算需求。相較于其他供應(yīng)商,UVISEL Plus統(tǒng)的可升級性能將更好的滿足您未來的應(yīng)用需求。
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優(yōu)質(zhì)的性能
UVISEL Plus基于相位調(diào)制技術(shù),相位調(diào)制與高質(zhì)量消色差光學(xué)設(shè)計(jì)的結(jié)合提供了無可匹的膜厚測試效果。
?信號采集過程無移動部件
?光路中無增加元件
?高頻調(diào)制 50 kHz
?測試全范圍的橢偏角,Ψ (0-90,Δ (0-360)