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超高分辨率冷場(chǎng)發(fā)射
為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍
?沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍
?采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的優(yōu)質(zhì)性能
?(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
?采用污染小、高真空樣品倉(cāng)
?運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配),可觀察到多種成分對(duì)比度