超寬測(cè)量范圍
四點(diǎn)探頭能提供0.1μA至1A的電流，該系統(tǒng)可以測(cè)量1μΩ/至100MΩ范圍內(nèi)的薄層電阻，從而能夠表征各種材料。
高精度
可以使用PC軟件進(jìn)行正極性和負(fù)極性測(cè)量。這使您能夠計(jì)算正電流和負(fù)電流之間的平均薄層電阻，消除可能發(fā)生的任何電壓偏差，從而提高測(cè)量精度，動(dòng)態(tài)測(cè)試重復(fù)性可達(dá)0.2%。
全自動(dòng)掃描
“手動(dòng)任意點(diǎn)測(cè)量”和“全自動(dòng)多點(diǎn)測(cè)量”兩種測(cè)量模式。XY軸自動(dòng)平臺(tái)行程兼容至230mm x 230mm，多種預(yù)設(shè)方案供選擇，也可自定義測(cè)試方案，只需提供坐標(biāo)，即可一鍵測(cè)量。
易于使用
只需插入系統(tǒng)，安裝軟件，您就可以開始使用了！直觀的界面額簡(jiǎn)潔的設(shè)計(jì)使四點(diǎn)探頭易于使用，簡(jiǎn)化了薄層電阻的測(cè)量?？梢允褂酶鞣N形狀和尺寸的基板。
無損檢測(cè)
四點(diǎn)式探針在設(shè)計(jì)時(shí)考慮了精密樣品的測(cè)量，溫和的彈簧加載觸點(diǎn)和圓形。探針壓力3-5N，防止探頭刺穿脆弱的薄膜，同時(shí)仍然提供良好的電接觸。
快速材料表征
PC軟件（隨系統(tǒng)提供）可執(zhí)行薄層電阻、電阻率和電導(dǎo)率的所有必要測(cè)量和計(jì)算，使材料表征變得毫不費(fèi)力。它還會(huì)自動(dòng)執(zhí)行校正因子計(jì)算。
1%行業(yè)精度
與非接觸式渦流測(cè)量相比，四探針技術(shù)具有更高的分辨率、良好的精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和更寬的測(cè)量范圍。非接觸式渦電流測(cè)量將襯底的薄層電阻率與表面層的電阻率結(jié)合在一起測(cè)量，并導(dǎo)致不確定度。
由于探針是彈簧加載的，當(dāng)樣品上升到探針中時(shí)，探針會(huì)壓縮，從而產(chǎn)生恒定的接觸力。
