![]() | 1、X向橫梁:采用精密斜梁技術(shù)。 2、Y向?qū)к墸翰捎玫闹苯蛹庸ぴ诠ぷ髋_(tái)上的整體下燕尾槽定位結(jié)構(gòu)。 3、導(dǎo)軌方式:采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承組成的四面環(huán)抱式靜壓氣浮導(dǎo)軌。 4、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng):采用本產(chǎn)高性能DC直流伺服電機(jī)、柔同步齒形帶傳動(dòng)裝置,各軸均有限位和電子控制,傳動(dòng)更快捷、運(yùn)動(dòng)性能更佳。 5、Z向主軸:可調(diào)節(jié)的氣動(dòng)平衡裝置,提高了Z軸的位精度 6、 控制系統(tǒng):采用進(jìn)口的雙計(jì)算機(jī)三座標(biāo)專用控制系統(tǒng) 7、 機(jī)器系統(tǒng):采用計(jì)算機(jī)輔助3D誤差修正技術(shù)(CAA),保證系統(tǒng)的長(zhǎng)期的穩(wěn)定性和高精度。 8、 測(cè)量軟件:采用功能強(qiáng)大的3D-DMIS測(cè)量軟件包,具有完善的測(cè)量功能和聯(lián)機(jī)功能。 |
規(guī)格 | 測(cè)量范圍(㎜) | 外形尺寸(㎜) | 測(cè)量精度 | 載 重( Kg) | 整機(jī)重量(Kg) | |||||
X | Y | Z | X | Y | Z | 空間示值誤差 MPE E (μm) | 探測(cè)誤差 MPEP(μm) | |||
CMFH 575 | 500 | 700 | 500 | 1150 | 1320 | 2570 | 2.2 ﹢ 3L / 1000 | 2.5 | 500 | 1500 |
CMFH 8107 | 800 | 1000 | 700 | 1450 | 1900 | 3000 | 2.5 ﹢ 3L / 1000 | 2.8 | 1000 | 2400 |
CMFH8157 | 1500 | 2400 | 1200 | 3000 | ||||||
CMFH10128 | 1000 | 1200 | 800 | 1650 | 2100 | 3250 | 3.0 ﹢ 3L / 1000 | 3.5 | 1200 | 2900 |
CMFH10158 | 1500 | 2400 | 1350 | 3300 | ||||||
CMFH10208 | 2000 | 2900 | 1500 | 4200 | ||||||
CMFH12158 | 1200 | 1500 | 800 | 1850 | 2400 | 3250 | 3.8 ﹢ L / 250 | 4.2 | 1400 | 3800 |
CMFH12208 | 2000 | 2900 | 1600 | 4500 | ||||||
CMFH101510 | 1000 | 1500 | 1000 | 1650 | 2400 | 3700 | 3.8 ﹢ L / 250 | 4.2 | 1350 | 3500 |
CMFH102010 | 2000 | 1500 | 4300 |