ZNX-6R各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，限度減輕操作
者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì)，可對系統(tǒng)功能進(jìn)行自
由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多
種觀察功能，可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用，進(jìn)行功能選擇。
寬視場鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒
正像鉸鏈三目觀察筒，所成像的方位與物體實(shí)際方向相同，物體移動的方向跟像面移動的方向相同，便于觀察與操作。
大行程移動平臺設(shè)計(jì)
采用6寸平平臺設(shè)計(jì)，行程158×158mm，可適用于對應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時(shí)間使用也不會使機(jī)架過熱。
技術(shù)規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng) 無限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng) 觀察筒 30°傾斜，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié) ：50-76mm，分光比 100:0 或 0:100（支持 25/26.5mm 視場） 30°傾斜，倒像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié) ：50-76mm，三檔分光比 0:100 ；20:80 ；100:0（支持 25/26.5mm 視場） 5-35°傾角可調(diào)，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，單邊視度調(diào)節(jié)：±5 屈光度，兩檔分光比 100:0 或 0:100（支持 22/23/16mm 視場） 目鏡 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/22mm，可帶測微尺，可選視度可調(diào) 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/23mm，視度可調(diào) 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶刻度十字分劃板 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/26.5mm，視度可調(diào)，可帶刻度十字分劃板 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL15X/16mm 物鏡 長工作距平場明暗場消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X） 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X） 超長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡（20X） 轉(zhuǎn)換器 內(nèi)定位五孔明暗場轉(zhuǎn)換器，帶 DIC 插槽 調(diào)焦機(jī)構(gòu) 透、反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置 . 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，5W 暖色LED透射光照明系統(tǒng)，上下光獨(dú)立可控 載物臺 6 英寸三層機(jī)械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺面積 445mm×240mm，反射照明移動范圍 ：158mm×158mm ；透射照明移動范圍 ：100×100mm ；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ；玻璃載物臺板（透、反射用） 照明系統(tǒng) 明暗場反射照明器 , 帶可變孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 攝影攝像 0.35X/0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦 其他 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 ；反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC 微分干涉組件。
