
♦ 光學(xué)元件角度、側(cè)垂,平行度的測量;
♦ 裝配定位及監(jiān)測:
晶元封裝定位;
透鏡偏移和傾斜監(jiān)測;
多個光學(xué)平面裝配平行度測量
♦ 振動或旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定性監(jiān)測
電子馬達移動或旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定性的檢測
主要技術(shù)指標: | 設(shè)備主件: | |
激光波長 | 紅光(或藍綠光) | •激光自準直儀 •測量軟件(可測量多個成像點) •二維調(diào)節(jié)臺 •測量臺座和立桿 •LD光源驅(qū)動器 |
測量范圍 | ±1° | |
分辨率 | 0.1" | |
測量精度 | ≤5" | |
可選光闌孔徑 | Φ1,2,3,4,6mm | |
可測距離 | 0~300mm |