●采用高脫鹽率反滲透膜，脫鹽率高，運(yùn)行壓力低，壽命可靠。
●采用全自動(dòng)控制，自動(dòng)制水、儲(chǔ)水、送水，不需專人守護(hù)，隨用隨取。
●高脫鹽率、高回收率，節(jié)約用水成本。
●系統(tǒng)設(shè)有停水、停電、過載的自動(dòng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全。
●系統(tǒng)產(chǎn)水水質(zhì)在線檢測(cè)，數(shù)字化顯示準(zhǔn)確直觀。
●操作面板人性化設(shè)計(jì)，操作簡單、易懂。
系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)震動(dòng)小、噪聲小，對(duì)工作環(huán)境無影響。
光刻工藝生產(chǎn)超純水設(shè)備/全自動(dòng)/旭能環(huán)保
超高純度：能生產(chǎn)出電阻率高達(dá) 18MΩ?cm 以上，總有機(jī)碳（TOC）含量極低，顆粒計(jì)數(shù)極少的超純水，滿足光刻工藝對(duì)水質(zhì)的**要求，確保光刻膠的分辨率和精度。
穩(wěn)定運(yùn)行：旭能采用高品質(zhì)的膜組件、泵、閥門等關(guān)鍵部件，經(jīng)過嚴(yán)格的設(shè)計(jì)和測(cè)試，可長時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)高質(zhì)量超純水，保證光刻工藝的連續(xù)性。
自動(dòng)化程度高：旭能配備**的 PLC 控制系統(tǒng)、傳感器網(wǎng)絡(luò)和遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制水質(zhì)、壓力、流量、溫度等參數(shù)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)運(yùn)行、調(diào)節(jié)、保護(hù)和故障報(bào)警，減少人工操作和維護(hù)成本。
靈活定制：可根據(jù)不同的光刻工藝需求、生產(chǎn)規(guī)模和水質(zhì)要求，進(jìn)行模塊化設(shè)計(jì)和定制化配置，方便設(shè)備的安裝、調(diào)試和擴(kuò)展。
節(jié)能環(huán)保：旭能采用節(jié)能型泵和優(yōu)化的工藝流程，降低能耗；同時(shí)，一些設(shè)備采用的 EDI 技術(shù)減少了酸堿廢水的排放，符合環(huán)保要求。
定期更換耗材：預(yù)處理的精密過濾器、活性炭過濾器的濾芯以及終端的微孔濾膜等需定期更換，如精密過濾器的 PP 濾芯 3-6 個(gè)月更換一次。
監(jiān)測(cè)膜和樹脂性能：定期監(jiān)測(cè)反滲透膜的脫鹽率和水通量，通過測(cè)量進(jìn)水和產(chǎn)水的電導(dǎo)率評(píng)估；離子交換樹脂飽和后要進(jìn)行再生或更換。
清潔與更換殺菌部件：紫外線殺菌單元中的燈管使用壽命一般為 8000-10000 小時(shí)，到期需更換，同時(shí)要清潔石英套管，保證紫外線透過率。
