光纖式藥液濃度計 CS-100F1
HORIBA藥液濃度計光纖式藥液濃度計 CS-100F1系列是針對在半導(dǎo)體制造中的清洗及蝕刻工藝中所使用的各種藥液進(jìn)行高精度濃度監(jiān)測的設(shè)備。
光纖式藥液濃度計 CS-100F1通過利用光纖傳播光信號，把樣品單元直接組裝到清洗裝置配管上，實(shí)現(xiàn)實(shí)時在線測量。 同時，1臺單一的濃度計zui多可以測量4種藥液或量程，在單槽/單晶圓清洗系統(tǒng)中進(jìn)行單線監(jiān)測成為了可能。此外，測量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。
●利用1臺濃度計zui大可以監(jiān)測4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測。
●實(shí)時濃度監(jiān)測。測量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。
●監(jiān)測周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。
●通過*分離電氣部分和測量部分以提高穩(wěn)定性。
●輕便小巧的設(shè)計有利于節(jié)省清洗裝置的空間。
●通過減少清洗工藝中的批次不良以提高產(chǎn)量。
光纖式藥液濃度計 CS-100F1主要特點(diǎn)：
●利用1臺濃度計zui大可以監(jiān)測4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測。
1臺濃度計中zui多可存儲4種校正系數(shù)(藥液或量程)，可監(jiān)測單槽或單晶圓等批次清洗方式的清洗裝置1種以上藥液(或者不同的藥液配比)濃度。
●實(shí)時濃度監(jiān)測。測量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。 通過使用可直接組裝在清洗裝置主配管中的在線檢測單元，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時的濃度監(jiān)測。為了強(qiáng)調(diào)穩(wěn)定性，也可使用檢測單元裝置型的濃度計，以進(jìn)行反饋控制?？梢员３衷谒幰簼舛戎档脑试S范圍內(nèi)，同時也可以避免不必要的藥液更換工作。
