X熒光光譜儀優(yōu)點：
1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘可以測完樣品中的全部待測元素；
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。(氣體密封在容器內(nèi)也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定；
3、非破壞分析。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好；
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析；
5、分析精密度高；
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
X熒光光譜儀在無損檢測方面，具有其他剖析技能無法比較的長處，應(yīng)用X射線光譜儀掃描辦法探測土壤表層下面的是元素是X射線無損檢側(cè)技能的一個主要使用范疇，X熒光光譜儀根據(jù)有手持和臺式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構(gòu)成，根據(jù)各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。
X熒光光譜儀是一種無損的，應(yīng)用廣泛的光譜分析儀器，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構(gòu)成，X射線管產(chǎn)生入射X射線，激發(fā)被測樣品，受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。
X熒光光譜儀是一種較新型的可以對多元素進行同時測定的儀器，在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線（即X熒光），波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。
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