本機采用雙層工作臺,使臺面工作重量通過力傳遞系統(tǒng)全面卸載到地面,而三軸不受外力影響,特別是臺面重載的情況下,仍然能夠保持精度不變。
*三軸采用優(yōu)質(zhì)花崗巖,熱膨脹系數(shù)小,具有相同的溫度特性及良好溫度適應(yīng)性、抗變形能力強,剛性好、動態(tài)幾何誤差變形小。
*三軸均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承組成的靜壓氣浮式導(dǎo)軌,軸承跨距大,抗角擺能力強,阻力小、無磨損、運動更平穩(wěn)。
*三軸均有氣源制動開關(guān)及微動裝置,可實現(xiàn)單軸的精密微動。