1. 用途及特點
氣體質(zhì)量流量控制器( Mass Flow Controller 簡稱MFC )能夠在較大的量程
范圍內(nèi)對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。
氣體質(zhì)量流量計( Mass Flow Meter 簡稱MFM )能夠在較大的量程范圍內(nèi)
對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。
它們在石化工業(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和
真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括：電子工藝
設(shè)備，如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。
Line-Tech Ltd.致力于對產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)。對M 系列氣
體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計（MFM）進(jìn)行了全新的技術(shù)改造，
在功能和性能上有了進(jìn)一步的提高。
M 系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計具有精度高、響應(yīng)速度快、重
復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下
工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計算機(jī)連接實現(xiàn)自
動控制。
M3100V 和M
1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）
sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）
slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）
項 目 M31000V 和M
1 流量規(guī)格（N2）: 25slpm ～ 120slpm
（本公司可以為客戶在25slpm ～ 120slpm范圍內(nèi)任何區(qū)域標(biāo)定）
2 準(zhǔn)確度 :±1% F.S （Full Scale）
3 重復(fù)精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）
4 響應(yīng)時間 :≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )
5 耐壓 :zui高 95 bar
6 工作環(huán)境溫度 :
7 輸入輸出信號: 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA
8 電源 :±15Vdc, 350mA
氣路接頭形式
可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：
a.. 1/8＂ Compress
b. 1/4＂ Compress
c. 3/8＂ Compress
d. 1/4＂ VCR
e. 1/4＂ VCO
范
