1、光學系統(tǒng):的主流光學系統(tǒng)-無限遠光學系統(tǒng)?!?/span>
2、物鏡品質:平場消色差和平場半復消色差物鏡。
3、目鏡視野:
4、機械結構:高剛性,高穩(wěn)定性結構,大氣堅固。
5、數(shù)碼成像:預留大視場數(shù)碼接口,各種數(shù)碼成像系統(tǒng),應用軟件MM150是國產大行程顯微鏡中的產品,專為6英寸及以下的集成電路硅片在線檢查和實驗室分析設計。具有成像清晰,工作距離長,使用便利,應用軟件豐富的特點。是一款性價比非常優(yōu)秀的微電子工業(yè)與科研用顯微鏡。