產(chǎn)品名稱(chēng)：DM-CVD 石英管式微波等離子體裝置
主要配置：
1、微波頻率2.45GHz；足額功率0～500W（基本型）或0～1000W（升級(jí)型）連續(xù)可調(diào)，陽(yáng)*壓、陽(yáng)極電流足額顯示；
2、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升級(jí)型）石英管真空室，有一個(gè)觀察窗和一個(gè)診斷窗；
3、石英管采用制冷循環(huán)水冷卻，保證裝置安全運(yùn)行。
4、配有真空測(cè)量及控制閥門(mén)系統(tǒng)；3路工作氣體流量控制；
（二）典型實(shí)驗(yàn)：
1、等離子體化學(xué)氣相沉積。A（氣）+B（氣）→C（固）+D（氣）。
反應(yīng)氣體A、B被激發(fā)為等離子狀態(tài)，其活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)生成所需要的固態(tài)物沉積在基片上，可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜、碳納米材料等。
2、等離子體表面刻蝕。A（氣）+B（固）→C（氣）。反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應(yīng)生成氣態(tài)物C，可用于集成電路的刻蝕實(shí)驗(yàn)。
3、等離子體催化反應(yīng)。等離子體中具有豐富的活性成分，如紫外和可見(jiàn)光子、電子、離子、自由基，高反應(yīng)性的中性成分如活性原子、受激原子態(tài)，從而可以引發(fā)在常規(guī)化學(xué)中不能或很難實(shí)現(xiàn)的化學(xué)反應(yīng)。
4、等離子體表面改性。A（氣）+B（固）→C（固）。反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)，與固體B表面發(fā)生反應(yīng)，生成新的化合物，從而達(dá)到改變B物質(zhì)表面性質(zhì)的目的。廣泛用于高分子材料、金屬材料、生物科研材料的表面改性。
（三）產(chǎn)品特色：
1、 微波系統(tǒng)設(shè)計(jì)嚴(yán)謹(jǐn)，加工精良，運(yùn)行時(shí)微波準(zhǔn)零泄漏，確保使用者人身安全；
2、 微波功率充足，等離子效應(yīng)強(qiáng)勁，作用效果良好；陽(yáng)極電壓電流足額顯示。
3、 樣品臺(tái)升降架精巧豪華，方便調(diào)諧和樣品取放；
4、 樣品臺(tái)可加熱或冷卻，有利于控制反應(yīng)過(guò)程。
5、制冷循環(huán)水系統(tǒng)踐行環(huán)保理念，避免用長(zhǎng)流水費(fèi)水?dāng)_民。
6、循環(huán)水機(jī)可聯(lián)機(jī)使用、可獨(dú)立使用，提高了投資效益；
7、缺水時(shí)啟動(dòng)高壓或正常工作時(shí)斷水，系統(tǒng)會(huì)斷電并報(bào)警；
8、真空泵排氣口接有油霧過(guò)濾器，保護(hù)環(huán)境；
9、電控系統(tǒng)功能完善、操作靈便、指示醒目；
10、整機(jī)造型典雅大氣。
地址：上海市楊浦區(qū)龍江路225號(hào)409室
：吳敏敏
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