COMBI-FLOW系列質(zhì)量流量控制器是專為*的半導體行業(yè)設計的一款產(chǎn)品,它采用金屬密封和模塊化設計,流量/壓力的測量控制和流體過濾切斷功能可以自由組合。并且組合,測試和校驗都是在等級 100 的超凈間環(huán)境狀態(tài)之下進行的。
熱式質(zhì)量流量計適用于范圍在0,2. 10 mln/min-2. 100 ln/ min的應用,壓力傳感器的隔膜是不銹鋼材質(zhì),可耐壓2..100 mbar 到 0,2..10 bar(根據(jù)要求可以更高)。還具備過濾器、控制閥(高溫控制閥)、截止閥等模塊