技術(shù)參數(shù):
可提供各種不同材料、周期、功能的極限尺度光柵,一期產(chǎn)品,采用納米壓印技術(shù)結(jié)合電子束鍍膜、反應(yīng)離子刻蝕等現(xiàn)代微加工技術(shù)制造,光柵周期500~100nm,極限尺寸可<100nm,可用于各類高分辨光譜儀、精密數(shù)控機(jī)床、衛(wèi)星導(dǎo)航和導(dǎo)彈制導(dǎo)等民用、軍事領(lǐng)域。
另外還可提供高密度自支撐透射金屬光柵,一期產(chǎn)品,采用納米壓印技術(shù)結(jié)合電子束鍍膜、反應(yīng)離子刻蝕、等現(xiàn)代微加工技術(shù)制造,自支撐光柵的極限周期可達(dá)100nm,即光柵密度達(dá)到10000線/mm??捎糜诿裼煤四鼙O(jiān)測(cè)、天文航天探測(cè)等高技術(shù)領(lǐng)域。
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