特點：
• 易于安裝
• 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件，很容易操作
• *的光學(xué)設(shè)計，以確保能發(fā)揮出*的系統(tǒng)性能
• 基于陣列設(shè)計的探測器系統(tǒng)，以確?？焖贉y量
• *的光源設(shè)計，有著較好的光源強度穩(wěn)定性
• 有四種方法來調(diào)整光的強度：
? 通過電源的調(diào)節(jié)旋鈕來調(diào)節(jié)電源輸出的大小
? 在光輸出端口濾光槽內(nèi)調(diào)整濾光片來調(diào)整
? 調(diào)整光束大小
? 通過TFProbe軟件，在探測器里調(diào)整積分時間
• zui多可測量5層的薄膜厚度和折射率
• 在毫秒的時間內(nèi)，可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數(shù)
• 能夠用于實時或在線的厚度、折射率測量
• 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫
• 對于每個被測薄膜樣品，用戶可以利用*的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進(jìn)行色散或者復(fù)合模型（EMA）測量分析；  
• 可升級至MSP（顯微分光光度計）系統(tǒng)，SRM成像系統(tǒng)，多通道分析系統(tǒng)，大點測量。
• 通過模式和特性結(jié)構(gòu)直接測量
• 提供的各種配件可用于特殊結(jié)構(gòu)的測量，例如通過曲線表面進(jìn)行縱長測量。
• 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。
系統(tǒng)配置：
• 型號：SR100R
• 探測器： 2048像素的CCD線陣列
• 光源：高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素?zé)?br />• 光傳送方式：光纖
• 臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量，200mmx200mm的大小
• 軟件： TFProbe 2.2版本的軟件
• 通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連
• 測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率
• 電腦硬件要求：P3以上、zui低50 MB的空間
• 電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
• 保修：一年的整機及零備件保修
規(guī)格：
• 波長范圍：250nm到1100 nm
• 光斑尺寸：500μm至5mm
• 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm
• 基板尺寸：zui多可至50毫米厚
• 測量厚度范圍*：2nm?50μm
• 測量時間：zui快2毫秒
• 精確度*：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）
• 重復(fù)性誤差*：小于1 ?