流量范圍 :從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ,具體請參考表一
響應(yīng)時(shí)間 : 1 ~ 2 秒
精 度 : ± 1% 滿量程(除 114 型); ± 1.5% 滿量程( 114 型)
再 現(xiàn) 性 : ± 0.2% 滿量程
量 程 比 : 50:1 ( 2%- 滿量程)
環(huán)境和操作溫度 : -10 ~ 70 ℃
zui大操作壓力 : 3000PSIG ( 20MPa ),具體請參考表一
零點(diǎn)漂移:± 0.05 % 滿量程 / ℃
范圍漂移: ± 0.05 % 讀數(shù) / ℃
壓力漂移: 0.1%/atm (相對于 N 2 )
安裝方向: 對位置不敏感
預(yù)熱時(shí)間: 10 分鐘
電氣連接: 卡式( 20 針)或 D 型( 9 針)
流量信號(hào)輸出:
0-5VDC (zui小負(fù)載電阻 2K Ω );
0-10VDC (zui小負(fù)載電阻 3K Ω );
1-5VDC (zui小負(fù)載電阻 2K Ω );
4-20mA (請參考下面的說明);
對于流量信號(hào)輸出為 4-20mA 的負(fù)載電阻:
環(huán)路電壓為 6.5-15VDC 時(shí): 0-450 Ω
環(huán)路電壓為 15-30VDC 時(shí): 200-750Ω
供應(yīng)電源 :
電壓輸出:+ 12( ± 5 % ) (僅適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號(hào)輸出)或 +15( ± 10 % )VDC
電流輸出:+ 15( ± 5 % ) 或 +24( ± 15 % )VDC
電流消耗:< 45mAdc
重 量 :請參考表一
結(jié)構(gòu)材質(zhì)
主 體: 316SS
傳感器組件 : 316LSS
密封材質(zhì)(” O ”型環(huán)): Buna N , EPDM , Kalrez ? , Neoprene , Viton?
過程連接: 316SS