主要特征
l 橋架固定,工作臺移動的固定橋式結構,為整機提供了更穩(wěn)定可靠的精度基礎,并確保高速運行時,振動對精度的影響zui小
l 柔性同步帶系統(tǒng),兼顧了柔性嚙合與剛性軸向傳動的優(yōu)點,確保高加速度時定位精度,從而提高運動的平穩(wěn)性
l 陶瓷Z軸、全花崗巖結構,為計量室環(huán)境下的測量提供了穩(wěn)定的高精度
l Z向采用了可調式氣動平衡設計,提高了機器的動態(tài)性能,提升Z軸安全性
l 標配溫度傳感器,自動補償由于溫度變化而引起的誤差
l Y向采用整體式燕尾導軌,提高了機器的精度和重復性
l 中心驅動系統(tǒng)減少偏擺和扭轉,Y向光柵安裝于工作臺的*,阿貝誤差小
l 機器框架采用花崗巖材料構成,厚重且穩(wěn)定,顯著提高了整機的剛性,并有效地減少了振動的影響
l 采用HEXAGON高分辨率金質光柵,其熱膨脹系數(shù)獲得PTB認證
規(guī)格型號與技術指標:
型號 | Rumba686 | Rumba8106 | Rumba10128 | |
行程(mm) | X軸 | 600 | 800 | 1000 |
Y軸 | 800 | 1000 | 1200 | |
Z軸 | 600 | 600 | 800 | |
空間尺寸(mm) | Dx | 1036 | 1236 | 1436 |
平臺(mm) | Ph | 350 | 350 | 350 |
Py | 1800 | 2000 | 2200 | |
支撐(mm) | Sx | 740 | 870 | 1000 |
Sy1 | 480 | 530 | 580 | |
Sy2 | 640 | 720 | 790 | |
外形尺寸(mm) | Lx | 1766 | 1976 | 2176 |
Ly | 2005 | 2205 | 2405 | |
Lz | 3086 | 3086 | 3086 | |
承重(kg) | 400 | 400 | 600 | |
機器重量(kg) | 4276 | 4980 | 5637 | |
MPEe(μm) | 1.4+L/450 | 1.5+L/350 | 1.7+L/350 | |
MPEp(μm) | 1.8 | 1.8 | 1.8 | |
光柵尺分辨率(μm) | 0.039 | |||
空間移動速度(mm/s) | 520 | |||
空間移動加速度(mm/s2) | 1039 | |||
流量/供氣壓力 | |
注:工作環(huán)境為溫度(20±1)℃, 濕度為25%-75%