OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。
用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制，用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測(cè)量，測(cè)量氧氣濃度，防止粉塵運(yùn)輸中粉塵爆炸。
主要技術(shù)參數(shù)：
| 測(cè)量對(duì)象 | 惰性氣體中的氧氣濃度 | ||||
| 測(cè)量系統(tǒng) | 氧化鋯系統(tǒng) | ||||
| 采樣方法 | 泵式、抽提式等 | ||||
| 樣氣條件 | 流速：200±25ml/min（僅適用于傳感器） | ||||
| 測(cè)量量程 | 0～10ppm O2至0～100vol% O2 | ||||
| 輸出量程 | 自動(dòng)： | 0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～（默認(rèn)） | |||
| 固定： | 設(shè)為0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～ | ||||
| 部分： | 可設(shè)置下限值或上限值 | ||||
| 模擬輸出 | 2路輸出，第一路：4～20mA DC（zui大負(fù)載電阻550Ω），第二路：可選為0～1，0～5，0～10V DC（負(fù)載電阻：10kΩ或更大） | ||||
| 接點(diǎn)輸出 | 報(bào)警輸出2點(diǎn)： | 錯(cuò)誤接點(diǎn)，O2濃度報(bào)警接點(diǎn) | |||
| 量程范圍輸出1點(diǎn)： | 接點(diǎn)輸出 | ||||
| 多選擇器（選配件）： | 流路切換接點(diǎn)輸出和測(cè)量中流路信息接點(diǎn)輸出 | ||||
| 接點(diǎn)輸入 | 1點(diǎn)：采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF | ||||
| 自診斷 | 故障： | 傳感器錯(cuò)誤，加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷開，設(shè)備溫度錯(cuò)誤，CPU錯(cuò)誤，FAN停止 | |||
| 報(bào)警： | 加熱器不穩(wěn)定，傳感器錯(cuò)誤，電動(dòng)勢(shì)異常，非對(duì)稱電壓錯(cuò)誤錯(cuò)誤，標(biāo)定錯(cuò)誤，傳感器電阻錯(cuò)誤，O2濃度上/下限，超限 | ||||
| 串口通信 | RS-232，38400 bps | ||||
| 標(biāo)定方法 | （1）3點(diǎn)：10ppm，1000ppm，空氣，（2）2點(diǎn)：可設(shè)定為零點(diǎn)氣和量程氣標(biāo)定，（3）1點(diǎn)，（4）空氣標(biāo)定 | ||||
| 暖機(jī)時(shí)間 | 20分以內(nèi) | ||||
| 電源 | 100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz | ||||
| 功耗 | 100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大 | ||||
| 尺寸 | 213 （W） x 132 （H） x 約375 （D） mm | ||||
| 質(zhì)量 | 約5kg | ||||
| 管線連接 | 氣體入口：Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋 | ||||
| 環(huán)境條件 | 安裝條件： | 室內(nèi)，盤裝或壁裝，非易燃區(qū)域 | |||
| 環(huán)境溫度： | 0～40℃，無結(jié)露 | ||||
| 環(huán)境濕度： | 5～85%RH | ||||
| 儲(chǔ)存溫度： | -5～50℃ | ||||
| ±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或） | |||||
| 線性 | ±2%F.S. | ||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | 90%響應(yīng) | ||||
| 漂移 | ±2%F.S./周 | ||||
