當前各國使用的擴散泵硅油主要仍是DOW CORNING公司開發(fā)的下列兩種:DC-704和DC-705。使用上述硅油可獲得1.333×10-7~1.333×10-11kPa(無阱條件下)及1.333×10-10~1.333×10-12kPa。
DOW CORNING擴散泵油是為高真空和在生產作業(yè)中快速對大容積氣體抽真空而設計的,國內95%以上的進口擴散泵用DOW CORNING的擴散泵硅油。
- 縮短調節(jié)運行時間;
- 單一組分硅油比用多組分硅油達到zui大真空度需要的時間短得多;
- 快速抽空;
- 極小的回流,DOW CORNING單一組分硅油的蒸汽壓力是很低的,以至對于許多應用阱或現(xiàn)存的阱致冷是不需要的;
- 較長的服務壽命;
- 硅油的熱和化學穩(wěn)定性允許*的運行而不被惡化和污染;
- 清洗系統(tǒng)維修需求較少;
- 較快的循環(huán),減少停機時間,更換油的需求少。
產品名稱 | 粘度 cSt(25℃) | 敞開閃點,℃ | 沸點,℃ (0.5乇時) | 典型爐溫,℃ | 推斷的蒸汽壓力,乇(25℃)時 | 極限真空度,乇 | 比重,25℃ | |
無阱 | 有阱 | |||||||
DC702 | 45 | 193 | 180 | 190 | 1×10-6 | 10-6 | — | 1.07 |
DC704 | 39 | 221 | 215 | 220 | 2×10-8 | 10-710-8 | 到10-11 | 1.07 |
DC705 | 175 | 243 | 245 | 250-270 | 3×10-10 | 10-910-10 | 10-11 | 1.09 |
產品 項目 | DC 704 | | |
特性 | 熱穩(wěn)定性,高溫抗氧化性,化學惰性 | 苯含量高,化學惰性,無雜質,抗氧化、輻射和爆炸 | 熱穩(wěn)定性,低水汽壓力,低回流率,抗氧化、水解和輻射 |
用途 | 用于生產工作中快速抽空大容積氣體和水汽 | 用于制造10-7~10-8乇(無阱)和10-10~10-11乇(有阱)的真空) | 用于制造超高和超潔凈真空 |
使用硅油的擴散泵被廣泛用在電子、電氣及金屬加工等要求高真空系統(tǒng)的領域,如顯像管、燈泡、大功率電子管、微波電子管、原子能加速器、電子顯微鏡、半導體元件、集成電路、電子部件、金屬真空鍍膜、真空冶金、加工鍛燒裝置及真空蒸餾等部門。