光學(xué)系統(tǒng):(OPtics)
◆主光路部分包括:2400刻線/mm的標(biāo)準(zhǔn)光柵;穩(wěn)定可靠的750mm焦距羅蘭圓出縫架;折返式前光路設(shè)計,使光路結(jié)構(gòu)更加緊湊;方便可拆卸的光窗及入射狹縫設(shè)計,使維護(hù)清潔更加方便。
◆出射狹縫采用的是激光加工的整體狹縫,包括了所有可能用到的分析通道,可滿足各種分析要求。這種設(shè)計方式,在增加通道時,不再需要傳統(tǒng)的增加出射狹縫及調(diào)整工作。出射狹縫是激光切割的整體狹縫非獨(dú)立狹縫,即便運(yùn)輸時,出射狹縫也不會有漂移。
◆懸浮鑄鋁羅蘭圓出縫架和光室采用加熱恒溫設(shè)計,確保光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。氬氣流沖洗確保光學(xué)系統(tǒng)的清潔,減少定期檢修次數(shù)。根據(jù)應(yīng)用不同,光室可工作于真空及非真空狀態(tài)。
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