德國BMT公司生產(chǎn)的SMS測量系統(tǒng)是用于非接觸表面測量分析的三維光電測量系統(tǒng)。按客戶要求可選配其它多種光學(xué)位移測量傳感器,如:自聚焦傳感器、白光干涉系統(tǒng)、共焦傳感器、觸針式傳感器、三角測量傳感器、色敏傳感器。工作站基本配置為精密的大理石橋式測量臺和X、Y移動(dòng)工作臺。測量數(shù)據(jù)的采集是通過BMT三維軟件包完成的。數(shù)據(jù)采集速度快、表面輪廓復(fù)現(xiàn)度高。光斑軌跡小以及傾斜度大的輪廓,可以對宏觀和微觀結(jié)果進(jìn)行量化。所有的測量軸都具有納米分辨率,模塊化設(shè)計(jì)使系統(tǒng)可用于不同的測量任務(wù)。軟件系統(tǒng)界面直觀,操作方便,可以選配電機(jī)驅(qū)動(dòng)Z軸來擴(kuò)大測量范圍。
主要用途
◆ 用于金屬片、紙、玻璃塑膠、晶片、*等行業(yè)
◆ 其他表面的微觀形貌測量
◆ 微型機(jī)械元件的尺寸測量
◆ 金相測量
◆ 微小或較大區(qū)域內(nèi)直線度、平面度、臺階高度、粗糙度的測量計(jì)算
◆ 測量范圍:X、Y方向可達(dá)300mm、Z軸可達(dá)50mm
◆ 橫向分辨率優(yōu)于1μm,Z軸分辨率zui高接近1mm(取決于傳感器)
◆ 可用顯微鏡和照相機(jī)觀察表面(選配)
◆ 二維/三維粗糙度測量分析、快速傅立葉變換、自相關(guān)函數(shù)并可測平面度、臺階高度、斜坡
◆ 采用宏匯編語言實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測量