Helios是全自動實時材料分級和過程控制的在線監(jiān)控設(shè)備, 鑒別太陽能電池材料中可能降低效率的隱性傷痕,提高生產(chǎn)效率的同時降低成本。每條生產(chǎn)線每年提升效益170萬美元! 應(yīng)用: 1.進料監(jiān)控 通過少子壽命自動對晶圓定級 2.過程控制 監(jiān)控和優(yōu)化關(guān)鍵工序,如擴散和鍍膜等 3.損傷鑒別 檢測電池片成品的破損和微小裂痕 | ||||
特點: 1. 線上監(jiān)控或線下分析都適用 2. 采用InGaAs探頭提升測量靈敏度,減少檢測時間 3. 采用高靈敏光學(xué)成像技術(shù),每片晶圓測試時間<1s 4. 鑒別并預(yù)防低質(zhì)量材料進入高損耗工序,降低成本 5. 采用簡單明了的圖形界面和是非判定 6. 相比于其他同類PL系統(tǒng)更具性價比 | ||||