韓國*高精度氣體質(zhì)量流量計/氣體質(zhì)量流量控制器，使用特別的熱傳感器和控制電路提高計算精度。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)和其他行業(yè)，產(chǎn)品設(shè)計堅固、耐用，且經(jīng)濟(jì)。
應(yīng)用：
LINE TECH氣體質(zhì)量流量流量計和流量計廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、大學(xué)實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
優(yōu)勢：
l 測量質(zhì)量流量
l 不需要溫度、壓力補(bǔ)償
l 緊湊的流量控制系統(tǒng)
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高壓（15公斤）
l 快速響應(yīng)時間（＜1秒）
l 高重復(fù)性（±0.25%F.S）
l 量程范圍:300-1000 SLPM
規(guī)格：
| 型號 | M3500V |
| 流量范圍（N2） | 300~1000 slpm |
| 響應(yīng)時間 | ＜2秒 |
| 精確度 | ±1% |
| 重復(fù)精度 | ±0.25% |
| 輸入輸出信號 | 0~5Vdc |
| 供電 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| zui大工作壓力 | 60~240 psia |
| zui大工作溫度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
| 控制范圍 | 2~ |
尺寸：
