數(shù)字式四探針測(cè)試計(jì)/數(shù)字式四探針測(cè)試儀
型號(hào):DP-SX1934
產(chǎn)品點(diǎn)
四探針測(cè)試儀是根據(jù)單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測(cè)試用儀器。
儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,采用旋扭式開(kāi)關(guān)控制,及各種工作狀態(tài)LED指示。應(yīng)用微計(jì)算機(jī),使得測(cè)量讀數(shù)更加直觀(guān)、快速。整套儀器體積小、功耗低、測(cè)量精度、測(cè)試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。
測(cè)量范圍 電阻率/Range:10-4—105Ω/□(可擴(kuò)展/extended range) 方塊電阻(薄層電阻) /Sheet resistance:10-3—106Ω/□ 電阻/resistance:10-6—105Ω
可測(cè)晶片直徑(Z大) φ100mm(標(biāo)配),方形230×220mm(Z大)
Z大電阻測(cè)量誤差(按JJG508-87)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數(shù)±2個(gè)字
外形尺寸 400mm×440mm×120mm
儀器重量 電氣主機(jī):約4kg 測(cè)試臺(tái):約5kg
測(cè)試環(huán)境 溫度:23±2℃ 相對(duì)濕度:≤65%; 無(wú)頻干擾 無(wú)強(qiáng)光照射
電源 220V±10%(50Hz) 功耗≤35W
備注 具備電腦接口
探頭
SZB-Sx系列四探針探頭是采用綜合性能優(yōu)異的分子材料、耐磨和硬度的探針研制的測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定、可靠、準(zhǔn)確度、耐用性能好四探針探頭。所有指標(biāo)符合家標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)規(guī)定。
間距:1±0.01mm; 針間緣電阻≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤1.0%;
探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓(總力) TZT-9C/9D 5-8 牛頓(總力)
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