A.用途：
EF100-2302型表面輪廓測量儀是在T2000基礎(chǔ)上研制的新升級(jí)產(chǎn)品，其包括的應(yīng)用范圍和測量性能達(dá)到了世界同類儀器的*水平。
本儀器包括粗糙度測量系統(tǒng)、直接輪廓測量系統(tǒng)、波紋度測量系統(tǒng)和形狀測量系統(tǒng)。其中粗糙度、波紋度、直接輪廓測量系統(tǒng)的參數(shù)和數(shù)據(jù)處理的方法，都是嚴(yán)格遵照有關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)和ISO標(biāo)準(zhǔn)制訂和檢驗(yàn)的。
本儀器WINDOWS98工作平臺(tái)，DELPHI編程環(huán)境，數(shù)據(jù)和圖像處理功能得到了很大的改善。
在形狀測量中，由于機(jī)械系統(tǒng)的精度高，數(shù)學(xué)處理方法合理，編程環(huán)境*，其精度也有很好的保證。
本儀器特別適合對(duì)工件的表面形貌進(jìn)行微觀和宏觀的分析和檢驗(yàn)，儀器精度達(dá)到DIN4772-1級(jí)。
本儀器還可以根據(jù)用戶的需要提供三維形貌分析系統(tǒng)，此系統(tǒng)特別適用于復(fù)雜表面形貌的分析。
B.粗糙度測量系統(tǒng)的測量性能：
測量范圍.......................16μm/160μm
zui高分辨率..............................0.001μm
取樣長度L...................0.08,0.25,0.8,2.5,8
評(píng)定長度................1×L,2×L,3×L,4×L,5×L
濾波器............................RC,PC,二乘,高斯
評(píng)定參數(shù)..........Ra,Rz,Ry,Rt,Rtm,Rp,Rv,Rpm,Rvm,
Rq,△q,λq,△a,Sm,S,D,Sk,Rku,R3y,R3z,NR1,NR2,tp
圖像分析功能.......C-N（曲線－NR）,A-B（幅度分布－支承率）
C-B（曲線－支承率）,B（支承率－圖表）
圖像放大倍數(shù).........VV100、200、500、1000、2000、5000、
10000、20000、50000、10萬、20萬
......................VH2、5、10、20、50、100、200、500、
1000、2000、5000
C.直接輪廓測量系統(tǒng)的評(píng)定特性：
測量范圍.......................16μm/160μm/1600μm
評(píng)定參數(shù)....Pp、Pv、Pz、Pt、Pa、Pq Psk、Pku、P△q、 Psm
圖像分析功能...C-B（曲線－支承率）,C-N（曲線－NR）
D.波紋度測量系統(tǒng)的評(píng)定特性：
測量范圍.......................16μm/160μm/1600μm
取樣長度Lτ...............2.5、8、25
評(píng)定長度..............2Lτ、3Lτ、4Lτ、5Lτ
評(píng)定參數(shù)........Wa、Wc、Wp、Wv、Wt、Wq、WSm
圖像分析功能................C-N（曲線－NR）
濾波器...............................高斯
E.形狀測量的主要技術(shù)性能：
測量范圍................................4mm/20mm
垂直位移分辨率............................0.25μm
測量參數(shù).....水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等9個(gè)參數(shù)
圖形放大倍...Vv、2、5、10、20、50、100、200、500、1000、2000
VH、2、5、10、20、50、100、200、500、1000
測針zui大上升/下降角.............................77°/88°
水平分辨率..........................................1μm
F.驅(qū)動(dòng)箱
滑行速度......0.1、0.2、0.5、0.8、1（mm/秒）
精密基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線性.............1μm/40mm
zui大測量長度.........................100mm
G.傳感器：
小行程傳感器......標(biāo)準(zhǔn)傳感器（TKE100）、圓弧傳感器（TKK50）
直線傳感器（TKLT300）、齒面?zhèn)鞲衅鳎═KZ100）
針尖半徑............................................5μm
測針測力.....................................0.8mN
外徑..........................................11mm
大行程傳感器................................PM2000
針尖半徑.....................................25μm
測量力調(diào)整范圍..........................0.02-0.06N
H.立柱和工作底臺(tái)：
立柱結(jié)構(gòu)......滾動(dòng)絲杠升降系統(tǒng)，快慢速機(jī)動(dòng)升降
立柱上升高度...........................480mm
工作底臺(tái)結(jié)構(gòu)...450×600mm、花崗巖平臺(tái)、兩個(gè)T型槽
I.其他附件：
可調(diào)夾持器（PHZ）、剛性夾持器（FHZ）、安裝板（APS）、小型萬向工作臺(tái)、小型V型臺(tái)、電箱（D2302）、小平口鉗、計(jì)算機(jī)、激光打印機(jī)
