手持式四探針測(cè)試儀 四探針測(cè)試儀 型號(hào):DP-RTS-3
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![](https://img73.ybzhan.cn/bb33f2c9b6dc3b8561fe1829ac1dd3bc301ccf9de1e9be9ace346a6ed9f2c11a0f819ca9d9f781fe.png) | 測(cè)量范圍寬、精度、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的手持式; | ![](https://img73.ybzhan.cn/bb33f2c9b6dc3b8561fe1829ac1dd3bc301ccf9de1e9be9ace346a6ed9f2c11a0f819ca9d9f781fe.png) | 體積僅為:185mm(長(zhǎng))*90mm(寬)*30mm(); 重量:350g; | ![](https://img73.ybzhan.cn/bb33f2c9b6dc3b8561fe1829ac1dd3bc301ccf9de1e9be9ace346a6ed9f2c11a0f819ca9d9f781fe.png) | 使用鋰電池供電,次充電可連續(xù)使用100小時(shí); | |
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DP-RTS-3型手持式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的,用于測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。 儀器采用了電子行、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等點(diǎn)。如有需要可加配測(cè)試臺(tái)使用。 本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。 |
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技 術(shù) 指 標(biāo) : |
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測(cè)量范圍 | 電阻率:0.01~1999.9Ω.cm; 方塊電阻:0.1~19999Ω/□; | 恒流源 | 電流量程分為100μA、1mA兩檔,兩檔電流連續(xù)可調(diào) | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1%; 顯示:以大屏幕LCD顯示讀數(shù),直觀清晰;性、量程自動(dòng)顯示; | 四探針探頭基本指標(biāo) | 間距:1±0.01mm; 針間緣電阻:≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); | 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見(jiàn)探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 ( 按JJG508-87行) | 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 | 整機(jī)測(cè)量Z大相對(duì)誤差 | (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5% | 整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% | 外型尺寸 | 185mm(長(zhǎng))*90mm(寬)*30mm() | 重量 | 350g | 電源 | 鋰電池,次充電可連續(xù)使用100小時(shí); | 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度:23±2℃; 相對(duì)濕度:≤65%; 無(wú)頻干擾; 無(wú)強(qiáng)光直射 | |
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