型號3660系列
□通用的常閉型閥門確保了安全
□使用電磁執(zhí)行器保證了高效的可靠性
□低差壓類型控制適用于燃燒的氣體(LP可選)
F.S.量程 (N2換算) | 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM) | |
閥門種類 | 常閉電磁閥 | |
控制范圍 應(yīng)答性 精度 重復(fù)性 | 2%-F.S.(5%-F.S.) | |
設(shè)定±2%F.S.至2秒以內(nèi)(標(biāo)準(zhǔn)) | ||
±1.5%F.S.以內(nèi)(±2%F.S.以內(nèi)) | ||
±0.5%F.S.以內(nèi) | ||
壓力 | 耐壓 | 980kPa |
操作 差壓 | F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa; 5 | |
溫度 | 使用溫度 | 5°C-45°C |
連接氣體 部分材料 | SUS316、氟橡膠、 氯丁橡膠(選購件) | |
電力連接 | Dsub9個引腳公玡 KFC/SEMI 標(biāo)準(zhǔn) | |
輸入流量信號 | 0-5VDC | |
輸出流量信號 | 0-5VDC | |
需求電源供給 | +15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA |
型號3200系列
FM0101/0102/0103/0105系列
量,包括冷卻水和潔凈水。PPS樹脂材質(zhì),使流量計變得可
靠、耐用。
型號RK1400系列