四探針導(dǎo)體/半導(dǎo)體電阻率測(cè)量?jī)x 型號(hào):DP-SB100A/3型
由于金屬塊體材料的電阻和金屬薄膜的電阻很低,他們的測(cè)量采用四端接線(xiàn)法。為了滿(mǎn)足實(shí)際的需要,本儀器采用四探針?lè)ㄔ韥?lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)不同金屬、半導(dǎo)體、導(dǎo)電分子材料的電阻及電阻率的測(cè)量??捎糜谛N锢斫逃龑?shí)驗(yàn),對(duì)導(dǎo)體/半導(dǎo)體/金屬薄膜材料的電阻 及電阻率的測(cè)試及研究。本產(chǎn)品的電阻測(cè)量范圍可達(dá)10-5—106Ω。
DP-SB100A/3型四探針導(dǎo)體/半導(dǎo)體電阻率測(cè)量?jī)x是由DP-SB118/1型電壓電流源以及DP-SB120/2四探針樣品平臺(tái)二臺(tái)儀器構(gòu)成。
l DP-SB118型直流電壓電流源 (詳見(jiàn)該產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū))
直流電流源
a) 電流輸出范圍:1nA~200mA,輸出電壓不小于5V;
b) 量程:分五檔,20μA、200μA、2mA、20mA、200mA;
c) 電流輸出的基本誤差:0.03%RD±0.02%FS(20±2℃);其中50~200mA為0.05%RD±0.02%FS。
直流電壓源
a) 電壓輸出范圍:5μV~50V,負(fù)載電流不小于10mA(20mV以上);
b) 量程:分五檔,20mV、200mV、2V、20V、50V,每檔均有粗調(diào)和細(xì)調(diào);
c) 電壓輸出的基本誤差:0.05%RD±0.02%FS(20±2℃)。
數(shù)字電壓表(4½LED)利用電壓源部分“取樣”端可對(duì)被測(cè)電壓行測(cè)試
a) 測(cè)量量程 20mV,200mV,2V,20V,200V
b) Z分辨力 可達(dá)1µV
c) 基本誤差為 0.03%RD±0.02%FS (20±2ºC)
l DP-SB120/2四探針樣品平臺(tái)(詳見(jiàn)該產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū))
為被測(cè)薄膜樣品,利用四探針測(cè)量方式測(cè)量導(dǎo)體/半導(dǎo)體樣品的電阻和電阻率,提供了方便。
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