技術(shù)參數(shù):
流量規(guī)格:0~5、10、50、100、300、500sccm(mL/min)
控制及顯示精度: 0.1sccm(mL/min)
準(zhǔn)確度:±0.05%F.S
線性度:±0.1%F.S.
重復(fù)精度:±0.05%F.S.
工作壓差:0~1MPa
zui大耐壓:1.1MPa
環(huán)境溫度:0~65℃
電氣連接:DB9
輸出信號(hào):模擬、RS232、RS485、RS422、CAN(數(shù)字協(xié)議帶電氣隔離)
電源:15~40VDC
標(biāo)準(zhǔn)氣路接頭:M8*1、4mm快擰、6mm快擰
氣路管徑: 3~3.2mm、4mm、6mm(外徑)
可以測(cè)量的氣體類別: Air、He、Ar、N2、O2、H2、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2