功能 | 流量計/控制器 | |
基本型號 | LF400-S | |
滿量程流量范圍(N2) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
| SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 |
精度(%F.S) | ±1(≤15SLM) | |
| ±1.5(>15SLM.) | |
控制閥動作型式 | 常閉式 | |
線性(%F.S.) | ±0.5~1(≤15SLM) | |
| ±1.5%(>15SLM.) | |
重復精度(%F.S.) | ±0.2 | |
響應時間(sec) | ≤1 | |
流量輸出信號 | 0-+5.00V | |
流量設定信號 | 0-+5.00V | |
電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5~45 |
工作壓差 | (MPa) | 0.1~0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
zui大耐壓 | 3MPa | |
介質接觸材質 | 304,316,316L | |
密封材料 | 氟橡膠,硅橡膠,聚四氟乙烯 | |
接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
| Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | |
接頭和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 1.0KG |