QT104-XPS-7--半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)設(shè)備 半導(dǎo)體材料氣體分析儀 半導(dǎo)體材料氣體測(cè)定儀詳細(xì)介紹
特點(diǎn):
只要更換傳感器單元就可以檢測(cè)各種對(duì)象氣體。
用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行氣體檢測(cè)器校正。
可以大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間
檢測(cè)原理
定電位電解式
檢測(cè)氣體對(duì)象
半導(dǎo)體材料氣體
測(cè)量范圍
根據(jù)規(guī)格
分 解 能
全量程的百分之一表示
指示精度
FS±10%以?xún)?nèi)
報(bào)警模式
2段報(bào)警方式
報(bào)警方式
蜂鳴器(斷續(xù)音)、報(bào)警燈閃爍
應(yīng)答時(shí)間
60秒以?xún)?nèi)(60%應(yīng)答)
電 源
5號(hào)堿性干電池4節(jié)或AC變壓器
電池使用時(shí)間
連續(xù)12小時(shí)以上(使用堿性干電池?zé)o報(bào)警、20℃時(shí))
外型尺寸
W62×H150×D128mm(突出部分除外)
檢測(cè)方式 泵吸引式 使用溫度范圍 0℃~40℃ 重 量 約1.3kg 附 件
肩背皮帶、5號(hào)堿性干電池4節(jié)、過(guò)濾紙2張
選 購(gòu) 件 AC變壓器、傳感器通電臺(tái)、數(shù)據(jù)收集配套元件
檢測(cè)氣體一覽表: 對(duì)象氣體一覽表 型號(hào) 氣體 F.S 型號(hào) 氣體 F.S 型號(hào) 體 F.S XDS7NH NH3 100ppm XDS7GH GeH4 1ppm XDS7HS H2S
50ppm XDS-7SH SiH4 25ppm XDS-7CL CL2 5ppm XDS-7CO CO 250ppm
XDS-7DC 25ppm XDS-7CF CLF3 1ppm XDS-7DS Si2H6 25ppm
XDS-7AH AsH3 XDS-7HC HCL 25ppm XDS-7F2 F2 5ppm
XDS-7PH PH3 1ppm XDS-7HF HF 10ppm
XDS-7OZ O3 1ppm XDS-7BH B2H6 500ppb XDS-7HB HBr 10ppm
XDS-7SE H2Se 250ppb XDS-7NO NO 100ppm