技術(shù)參數(shù)
原 理:電化學傳感器。
量 程:0~10/100/1000ppm, 1/25% O2 自動或手動切換。
分辨率:量程的0.1%。
準確度:量程的1%(在常溫,常壓下)。
線性度:R平方值>0.995。
校準氣:建議采用80%FS O2 in N2標準氣。在線式微量氧分析儀
響應時間:20秒達到90%。在線式微量氧分析儀
恢復時間:15分鐘從空氣(30秒)到10ppm。在線式微量氧分析儀
10分鐘從9ppm(2分鐘)到10ppb。在線式微量氧分析儀
傳感器預期壽命:24個月(在1000ppm下)。在線式微量氧分析儀
操作條件
應用領域:半導體、空分、特氣行業(yè)。
測量介質(zhì):H2、He、碳氫化合物、惰性氣體、混合氣體等。
接 口:進出氣口采用1/4”或1/8”卡套接頭。
壓 力: 5~30psig(zui大100psig)。
溫 度: 5~ +45℃。
流 量:1~3 SCFH,*:2 SCFH(立方英尺/每小時) 。