該產品是基本于 MEMS工藝技術,采用硅―派勒克斯玻璃靜電鍵合形成的真空參考壓力腔 ,經過一系列無應力封裝及高精度補償技術,從而使該產品,以穩(wěn)定性優(yōu)良、精度高等突出優(yōu)點面向市場,適用于各種工裝下壓力測量與控制。1、產品特點:
(1)不銹鋼結構;
(2)MEMS 工藝技術制作敏感元件,采用真空充硅油隔離,不銹鋼波紋膜片過渡傳遞壓力;
(3)具有優(yōu)良的介質兼容性;
(4)適用于對316L 不銹鋼*的氣體、液體的壓力測量;
2、量程:0~50KPa……200MPa
3、供電方式:15~24VDC;
4、輸出信號:4~20mA 或0~5V(特殊要求可訂制);
5、過載壓力:≧150%FS;
6、介質溫度:-20~80℃;
7、補償溫度: 0~60℃;
8、貯存溫度范圍:-40~100℃;