光束位置測(cè)試儀
特點(diǎn): |
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實(shí)時(shí)測(cè)量±0.1μm的激光位移 |
| 外部觸發(fā)同步數(shù)據(jù)采集 |
模擬帶寬到達(dá)60kHz |
| 控制多個(gè)設(shè)備 |
并行操作模式:模擬和數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù) |
| TCP/IP通訊協(xié)議和遠(yuǎn)程控制 |
內(nèi)置高精度電源 |
| ActiveX軟件集成在客戶的應(yīng)用程序 |
主要參數(shù): |
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光束尺寸 | 50um-8mm |
波長(zhǎng)范圍 | 350-1100nm |
功率精確度 | ±5% |
功率范圍 | 1uW-2500uW |
位置分辨率 | 1um,0.5um |
位置精確度 | ±25um |