由于爐內低氮燃燒技術的局限性,使得NOx的排放不能達到令人滿意的程度,為了進一步降低NOx的排放,必須進行煙氣脫硝處理。通行的煙氣脫硝技術工藝大致可分為干法、半干法和濕法3類。其中干法包括選擇性非催化還原法( SNCR)、選擇性催化還原法(SCR)、電子束聯(lián)合脫硫脫硝法;半干法有活性炭聯(lián)合脫硫脫硝法;濕法有臭氧氧化吸收法等。

制藥廠廢氣脫硫處理設備電子束的發(fā)生原理：電子束發(fā)生裝置是由直流高壓電發(fā)生裝置和電子加速器組成的。電子束的發(fā)生原理和電視機顯像管的原理相似。電視機是將產(chǎn)生的電子束通過磁場的作用而變換成必要的角度，然后打到熒光屏上形成圖像。本電子束處理的原理是先把廢氣導入反應器內，然后用電子束通過照射孔對廢氣進行照射使其脫硫、脫硝。
電子束輻射裝置是由冷卻塔、反應器、電子束發(fā)生裝置、副產(chǎn)品集塵器組成的。對溫度150 ℃左右的煙氣，先用集塵器大致除去飄塵，然后通過冷卻塔噴水，將其冷卻到適合脫硫、脫硝反應的合適溫度(約65 ℃)。排煙露點通常為50 ℃左右，噴水在冷卻塔內*氣化，所以不會有廢液排出，然后將根據(jù)SOX濃度和NOX濃度定量地將氨注入煙氣，再導入反應器，在此用電子束照射煙氣，由于電子束照射，煙氣中的SOX和NOX在極短的時間內氧化，分別變?yōu)橹虚g生成物x酸和硝x。它們與共存的氨進行中和反應生成粉狀微粒。通過干式電除塵器分離，收集這些粉狀微粒后，再將凈化后的煙氣用抽風機通過煙囪排入大氣。

電子束工藝設備相對簡單,數(shù)量較少,其工藝系統(tǒng)主要由脫硫反應系統(tǒng)、煙氣系統(tǒng)、副產(chǎn)品處理系統(tǒng)、電氣與儀表控制系統(tǒng)組成。主要設備是電子束裝置和反應器。目前廢氣處理設備新技術電子束法簡寫為EBA,EBA是目前是*的廢氣處理設備煙氣處理技術之一，其原理是利用高能電子加速器產(chǎn)生的電子束(500-800KEV)輻照處理煙氣，將煙氣中的SO2和氮氧化物轉化xx銨和xx銨。

電子束法可達到90 %以上的脫硫率和80%以上的脫硝率 ,且不產(chǎn)生廢棄物 ,被認為是一種zui有應用前景的低成本煙氣處理工藝。

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