反應(yīng)艙 | 材料:鋁 有效尺寸:直徑230mm x 深度250mm 容積:10.4升 艙門(mén):裝有可視窗口 托盤(pán):訂制 |
真空度測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì) |
真空泵 | 二級(jí)旋片式真空泵,3m3/h |
頻射發(fā)生器 | 0~600W可調(diào),2.45GHz發(fā)生器 |
控制系統(tǒng) | PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能: l 自動(dòng)控制反應(yīng)過(guò)程; l 根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝參數(shù); l 測(cè)定真空泵壓力、抽真空時(shí)間、充氣速度、工作壓力、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo); l 監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo),保證各項(xiàng)參數(shù)在設(shè)定范圍之內(nèi); l 設(shè)定操作、維護(hù)密碼。 |
電源 | 220V AC, 50Hz, 16A |
反應(yīng)氣體 | 一個(gè)氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC) |
氣體輸入 | 直徑1/4英寸(6.35mm) 管道;輸入壓力:1Bar |
安全性能 | 急停開(kāi)關(guān);真空泵保護(hù)鎖;高溫保護(hù)鎖;CE安全認(rèn)證。 |
用途:
小型物件的活化、清洗、蝕刻等。
可選件:
- 頻射發(fā)生器:100KHZ, 13.56MHZ ,可訂制
- 可加裝15m3每小時(shí)的真空泵
- 根據(jù)需要,可訂制多個(gè)氣體輸入管道
- 根據(jù)客戶(hù)工藝要求制作的軟件程序
- 根據(jù)客戶(hù)要求制作的托盤(pán)。
- 石英反應(yīng)艙
- N2 Purge.