反應艙 | 材料:鋁 有效尺寸:直徑230mm x 深度250mm 容積:10.4升 艙門:裝有可視窗口 托盤:訂制 |
真空度測量 | 皮拉尼真空計 |
真空泵 | 二級旋片式真空泵,3m3/h |
頻射發(fā)生器 | 0~600W可調(diào),2.45GHz發(fā)生器 |
控制系統(tǒng) | PLC可實現(xiàn)下列功能: l 自動控制反應過程; l 根據(jù)處理材料設定不同的處理工藝參數(shù); l 測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標; l 監(jiān)測所有的運行指標,保證各項參數(shù)在設定范圍之內(nèi); l 設定操作、維護密碼。 |
電源 | 220V AC, 50Hz, 16A |
反應氣體 | 一個氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC) |
氣體輸入 | 直徑1/4英寸(6.35mm) 管道;輸入壓力:1Bar |
安全性能 | 急停開關;真空泵保護鎖;高溫保護鎖;CE安全認證。 |
用途:
小型物件的活化、清洗、蝕刻等。
可選件:
- 頻射發(fā)生器:100KHZ, 13.56MHZ ,可訂制
- 可加裝15m3每小時的真空泵
- 根據(jù)需要,可訂制多個氣體輸入管道
- 根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
- 根據(jù)客戶要求制作的托盤。
- 石英反應艙
- N2 Purge.