μVOC-CAM型潔凈室氣態(tài)分子污染物監(jiān)測(cè)儀 |
產(chǎn)地:意大利ETG ?全自動(dòng)在線質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng) ? 探測(cè)VOC含量 ? 對(duì)污染物進(jìn)行定性和形態(tài)分析 ? 探測(cè)水平可達(dá)ppb以下 ? 集成PC,支持?jǐn)?shù)據(jù)處理 ? 有機(jī)化合物探測(cè)水平可達(dá)ppb水平 ? 采樣點(diǎn)可多達(dá)16個(gè) 氣態(tài)分子污染物(AMC)是高科技制造行業(yè)非常關(guān)心的一個(gè)問題,特別是微電子行業(yè)。有機(jī)污染物會(huì)對(duì)生產(chǎn)工具產(chǎn)生不利的影響,zui終導(dǎo)致額外的花費(fèi)。無(wú)污染的生產(chǎn)環(huán)境不只是空想,是可以付諸實(shí)踐的,但是需要對(duì)原材料和制造進(jìn)程中的空氣過濾裝置進(jìn)行嚴(yán)格的控制。*的空氣分子污染物監(jiān)測(cè)可以幫助穩(wěn)定生產(chǎn),增加過濾裝置的使用壽命。 通過μVOC-CAM監(jiān)測(cè)儀,用戶可以長(zhǎng)時(shí)間在線監(jiān)測(cè)氣態(tài)分子污染物的含量,而不需要像使用采樣器那樣只在某一個(gè)時(shí)間點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。測(cè)量精度水平可達(dá)ppb水平以下。 探測(cè)精度水平持續(xù)保持在ppb以下:丁酮,*基硅烷,丙酮,乙醇,異丙醇,環(huán)己烷,乳酸乙酯,正己烷,乙苯,丁醇,醋酸乙酯,二甲苯,苯乙烯,苯,甲苯,六甲基二硅烷,丙二醇甲醚醋酸酯及其他組分。 運(yùn)行原理:*以來(lái),氣象色譜就是測(cè)量和分離復(fù)雜分子化合物的主要選擇。氣象色譜法取決于樣品的蒸發(fā)性以及色譜柱對(duì)不同組分的吸收能力。 組分被色譜柱洗脫后,由火焰離子檢測(cè)器(FID)對(duì)其電導(dǎo)性進(jìn)行監(jiān)測(cè),從而得到組分的含量。*的吹掃和采樣系統(tǒng)使探測(cè)水平可達(dá)ppb以下水平。 規(guī)格參數(shù):測(cè)量原理:火焰電離氣相色譜法 尺寸(H×W×D):160cmx60cmx80cm 外殼:NEMA 12或IP54有不銹鋼 操作溫度:10℃~ 35℃ 通訊:RS-232, 以太網(wǎng), ODBC 氣體要求:CDA 5 l/min H2 130 sccm(也可選擇 H2發(fā)生器) 采樣通道:多達(dá)16通道 分辨率:0.1 ppb 探測(cè)組分:可多達(dá)30種,用戶自定義 測(cè)量范圍:0-200 ppb |