質(zhì)量保證 膜厚測試儀X射線衍射裝置
具體地說,比如用不同的裝置測定食鹽(NaCl)時,從螢光X射線裝置得到的信息為此物質(zhì)由鈉(Na)和氯(Cl)構(gòu)成,而從X射線衍射裝置得到的信息為此物質(zhì)由(NaCl)的結(jié)晶構(gòu)成。單純地看也許會認(rèn)為能知道結(jié)晶狀態(tài)的X射線衍射裝置(XRD為好,但當(dāng)測定含多種化合物的物質(zhì)時只用衍射裝置(XRD)就很難判定,必須先用螢光X射線裝置(XRF)得到元素信息后才能進行定性。
主要特點
★ 自動對焦功能 。配備激光自動對焦功能,能夠準(zhǔn)確對焦,提高測量效率。
★ 具有焦點距離切換功能,適用于有凹凸的機械部件與電路板的底部進行測量
★ 采用檢量線法和FP法,兩個準(zhǔn)直器可自動切換,采用激光自動對焦,并配備有Z軸防沖撞傳感器,可防止在對焦時造成的損壞。
★ 選用Mo靶材X射線管,測量貴金屬更靈敏。
★ 支持多種語言的軟件系統(tǒng)。簡體中文、繁體中文、英語、日語、韓語
★ 搭載樣品尺寸的兼容性可適用于各種樣品,能夠通過一臺儀器測量,從電子部件、電路板到機械部件等高度較高的樣品,從較厚的樣品(機械零部件)之大型線路板(PCB)及電子元器件等
★ 鹵素?zé)粽彰?/p>
★即時生成測量報告的便捷性 。運用搭載的Microsoft Word? Excel? 可以簡單輕松得到制作報告
★ 多種修正功能。基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正
★ 搭載了電動X-Y移動平臺
質(zhì)量保證 膜厚測試儀技術(shù)參數(shù):
儀器的特長:廣泛應(yīng)用型
可測元素:Ti~U
X射線管:小型空氣冷卻型高功率X射線管球(W靶)管電壓:45kV 管電流:1mA Be窗
濾波器:
一次濾波器:A1-自動切換
二次濾波器:Co-自動切換
檢測器:比例計數(shù)管
樣品觀察:CCD攝像機
對焦方式:激光自動對焦
測定軟件:薄膜FP法、檢量線法
5個準(zhǔn)直器可自動切換
型(Φ0.1、Φ0.2、Φ0.3mm)
型(0.2×0. 05 mm、0.05×0.02 mm)
安全機能:測量室門自鎖功能
Z軸防沖撞功能
儀器自診斷功能
質(zhì)量保證 膜厚測試儀原理
采用磁感應(yīng)原理時,利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來測定覆層厚度。也可以測定與之對應(yīng)的磁阻的大小,來表示其覆層厚度。覆層越厚,則磁阻越大,磁通越小。利用磁感應(yīng)原理的測厚儀,原則上可以有導(dǎo)磁基體上的非導(dǎo)磁覆層厚度。一般要求基材導(dǎo)磁率在500以上。如果覆層材料也有磁性,則要求與基材的導(dǎo)磁率之差足夠大(如鋼上鍍鎳)。當(dāng)軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時,儀器自動輸出測試電流或測試信號。早期的產(chǎn)品采用指針式表頭,測量感應(yīng)電動勢的大小,儀器將該信號放大后來指示覆層厚度。近年來的電路設(shè)計引入穩(wěn)頻、鎖相、溫度補償?shù)鹊匦录夹g(shù),利用磁阻來調(diào)制測量信號。還采用設(shè)計的集成電路,引入微機,使測量精度和重現(xiàn)性有了大幅度的提高(幾乎達一個數(shù)量級)?,F(xiàn)代的磁感應(yīng)測厚儀,分辨率達到0.1um,允許誤差達1%,量程達10mm。