CMI900X射線熒光鍍層測厚儀
主要特點(diǎn)測量范圍寬,可檢測元素范圍:Ti22–U92;可同時(shí)測定5層/15種元素/共存元素較正;精度高、穩(wěn)定性好;強(qiáng)大的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、處理功能;NIST認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)片;服務(wù)及。 技術(shù)參數(shù)測量斑點(diǎn)尺寸在12.7mm聚焦距離時(shí),zui小測量斑點(diǎn)尺寸為:0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>準(zhǔn)直器)在12.7mm聚焦距離時(shí),zui大測量斑點(diǎn)尺寸為:0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm<即圓形12mil>準(zhǔn)直器)樣品室開槽式樣品室樣品臺(tái)尺寸zui大610mm x 610mmXY軸移動(dòng)范圍標(biāo)準(zhǔn):152.4 x 177.8mm<程控>Z軸程控移動(dòng)高度43.18mmXYZ軸控制方式多種控制方式任選:XYZ三軸程序控制;XY軸手動(dòng)控制和Z軸程序控制;XYZ三軸手動(dòng)控制樣品觀察系統(tǒng)高分辨彩色CCD觀察系統(tǒng),標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)為30倍。50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選。
CMI900X射線熒光鍍層測厚儀
主要規(guī)格 | 規(guī)格描述 |
X射線激發(fā)系統(tǒng) | 垂直下照式X射線光學(xué)系統(tǒng) |
空冷式微聚焦型X射線管,Be窗 | |
標(biāo)準(zhǔn)靶材:Rh靶;任選靶材:W、Mo、Ag等 | |
功率:50W(4-50kV,0-1.0mA) | |
裝備有安全防射線光閘 | |
二次X射線濾光片:3個(gè)位置程控交換,多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選 | |
準(zhǔn)直器系統(tǒng) | 單準(zhǔn)直器組件 |
多準(zhǔn)直器自動(dòng)控制組件:zui多可同時(shí)裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器
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CMI900X射線熒光鍍層測厚儀主要特點(diǎn)
測量范圍寬,可檢測元素范圍:Ti22–U92;
可同時(shí)測定5層/15種元素/共存元素較正;
精度高、穩(wěn)定性好;
強(qiáng)大的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、處理功能;
NIST認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)片;
服務(wù)及。