【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】近日，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃《鎳鉑靶材合金化學(xué)分析方法 第1部分:鉑含量的測(cè)定 電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法》編制完成并征求意見，時(shí)間截止到2023年6月17日。主要起草單位為貴研鉑業(yè)股份有限公司、貴研檢測(cè)科技(云南)有限公司、北京有色金屬與稀土應(yīng)用研究所有限公司等。
 

　　根據(jù)YS/T 937-2013鎳鉑靶材產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)中 NiPt3、NiPt5、NiPt10、NiPt15Pt含量的準(zhǔn)確、快速測(cè)定要求，化學(xué)法流程長(zhǎng)，從準(zhǔn)確、快速考慮，電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜無疑是首選。
 

　　鎳鉑合金靶材廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中,成為保證半導(dǎo)體器件性能和發(fā)展半導(dǎo)體技術(shù)的關(guān)鍵材料。鎳與鉑同屬過渡族金屬,其中鎳表現(xiàn)為鐵磁性，鉑表現(xiàn)為順磁性，因此隨鉑含量的增加，Ni-Pt合金磁性減弱，由鐵磁性向順磁性轉(zhuǎn)變，因鉑含量的增加能夠提高薄膜的高溫穩(wěn)定性，并且改善界面形貌，減少侵占缺陷。
 

　　所以不同鉑含量的鎳鉑合金靶材在半導(dǎo)體制造工藝中發(fā)揮了重要作用，因此，材料研究和生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)人員都需要更快速、更準(zhǔn)確的掌握其中鉑元素的含量。鉑含量結(jié)果的準(zhǔn)確和分析方法的標(biāo)準(zhǔn)化是保證產(chǎn)品質(zhì)量，指導(dǎo)公平、公正交易，維護(hù)最佳秩序，促進(jìn)最佳共同效益的必要條件之一，故制定該標(biāo)準(zhǔn)是很有必要的。
 

　　經(jīng)過資料搜索，YS/T 937-2013鎳鉑靶材產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，附錄A中1%～15%的鉑含量也采用ICP-AES法測(cè)定，但此方法無內(nèi)標(biāo)控制，鉑含量大于5%以上采用稀釋后測(cè)定，稀釋過程容易引入誤差，而且方法中沒有重復(fù)性及再現(xiàn)性結(jié)果。
 

　　本文采用Y為內(nèi)標(biāo)測(cè)定控制，無稀釋過程，保證測(cè)定的準(zhǔn)確性，且增加重復(fù)性及再現(xiàn)性結(jié)果計(jì)算。保證了方法的適用及準(zhǔn)確。
 

　　本標(biāo)準(zhǔn)的制定，對(duì)考察物料平衡，公平、公正交易，維護(hù)行業(yè)最佳秩序，促進(jìn)最佳共同效益和推廣應(yīng)用具有重要意義。同時(shí)，也為產(chǎn)品質(zhì)量保證提供有力支撐。
 

　　儀器設(shè)備
 

　　電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀(工作參數(shù)見附錄A)。在儀器最佳工作條件下凡是能達(dá)到下列指標(biāo)者均可使用:
 

　　——光源:氬等離子體光源，發(fā)生器最大輸出功率不小于1.30kW。
 

　　——分辨率:20Onm 時(shí)光學(xué)分辨率不大于0.010nm; 400nm時(shí)光學(xué)分辨率不大于0.020nm。
 

　　——儀器穩(wěn)定性:儀器1h內(nèi)漂移不大于2.0%。