【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】近日，由中國兵器工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究所 、中科院重慶綠色智能技術(shù)研究院 、中科院大連化學(xué)物理研究所 、電子科技大學(xué)等單位編制，TC103(全國光學(xué)和光子學(xué)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會)歸口的國家標(biāo)準(zhǔn)計劃《光學(xué)和光子學(xué) 微透鏡陣列 第4部分：幾何特性測試方法》征求意見稿已編制完成，現(xiàn)公開征求意見。
 

　　微透鏡陣列是陣列光學(xué)器件中一類重要的光學(xué)元件，以單個透鏡、兩個或多個透鏡陣列的形式，廣泛應(yīng)用于三維顯示、與陣列光輻射源和光探測器相關(guān)的耦合光學(xué)、增強(qiáng)液晶顯示和光并行處理器元件。隨著科技不斷進(jìn)步，有必要制定一套技術(shù)內(nèi)容與國際接軌的國家標(biāo)準(zhǔn)，這樣既有利于推動我國微透鏡陣列行業(yè)規(guī)范有序發(fā)展，又能更好地促進(jìn)相關(guān)貿(mào)易、交流和技術(shù)合作。GB/T 41869《光學(xué)和光子學(xué) 微透鏡陣列》就是在此背景下起草制定的，微透鏡陣列標(biāo)準(zhǔn)擬由以下幾個部分組成。
 

　　——第1部分：術(shù)語。目的在于通過定義微透鏡及其陣列的基本術(shù)語，促進(jìn)微透鏡陣列產(chǎn)品的應(yīng)用，有助于科研工作和行業(yè)從業(yè)者在共同理解的基礎(chǔ)上交流。
 

　　——第2部分：波前像差的測試方法。目的在于通過規(guī)范波前像差的測試方法，明確微透鏡的基本特性。
 

　　——第3部分：光學(xué)特性測試方法。目的在于通過確定光學(xué)特性重要指標(biāo)的測試方法，為供貨方產(chǎn)品交付提供依據(jù)。
 

　　——第4部分：幾何特性測試方法。目的在于通過確定幾何特性重要指標(biāo)的測試方法，為供貨方產(chǎn)品交付提供依據(jù)。
 

　　微透鏡陣列系列標(biāo)準(zhǔn)是對微透鏡術(shù)語、波前像差、光學(xué)特性和幾何特性測試方法的規(guī)范。本文件主要規(guī)定了微透鏡陣列幾何特性的測試方法，是在波前像差、光學(xué)特性之外，從結(jié)構(gòu)特性的維度定義微透鏡另一特性的測量。
 

　　本文件規(guī)定了微透鏡陣列中微透鏡幾何特性的測試項(xiàng)目、測試裝置及設(shè)備、測試準(zhǔn)備、測試原理及測試程序等內(nèi)容。本文件適用于表面浮雕結(jié)構(gòu)微透鏡陣列和梯度折射率微透鏡陣列。
 

　　測試項(xiàng)目：
 

　　測試項(xiàng)目包括：a) 間距和表面浮雕深度(矢高)；b) 物理厚度；c) 曲率半徑；d) 面形精度；e) 表面粗糙度；f) 填充因子。
 

　　測量準(zhǔn)備：
 

　　微透鏡陣列的幾何特性的測量原則上與使用接觸式輪廓儀測量其他任意表面相似。典型的接觸式輪廓儀包括一個探針(用于物理接觸表面)和一個傳感器(把垂直運(yùn)動轉(zhuǎn)化為電信號)。其他部件見圖 3，包括：電機(jī)和變速箱驅(qū)動的拾取組件，以恒定的速度將探針在表面上繪制；電子放大器，將探針傳感器的信號提升到有用的水平；用于記錄放大信號的設(shè)備或自動收集數(shù)據(jù)的計算機(jī)。
 

　　與微透鏡陣列表面接觸的探針部分通常是精密制造的金剛石尖端。由于微透鏡形狀限制，在某些陣列上探針端可能無法接觸谷底，使得測量結(jié)果失真或被過濾。探針壓力會對測量結(jié)果產(chǎn)生顯著影響。壓力過高可能會損壞陣列表面。壓力過低，探針無法可靠地與表面接觸。
 

　　接觸式輪廓儀應(yīng)當(dāng)盡可能遠(yuǎn)離灰塵、振動和陽光直射等環(huán)境中使用，環(huán)境溫度保持在20°C±2°C 范圍內(nèi)(無冷凝濕度低于 70%相對濕度)。最好用過濾的空氣吹表面，清除儀器表面的任何嚴(yán)重臟污。并使用合適的溶劑去除油或油脂。
 

　　在環(huán)境較差條件下進(jìn)行測試，應(yīng)充分考慮環(huán)境的影響。
 

　　測試報告：
 

　　測試結(jié)果應(yīng)記錄在案，并應(yīng)包括以下信息(如適用)：
 

　　a) 一般信息：
 

　　1)測試已按照 GB/T 41869.4-XXXX 執(zhí)行；
 

　　2)校準(zhǔn)日期、校準(zhǔn)程序和校準(zhǔn)不確定性評估；
 

　　3)測試日期；
 

　　4)測試機(jī)構(gòu)的名稱和地址；
 

　　5)相關(guān)認(rèn)證；
 

　　6)執(zhí)行測試的個人的姓名；
 

　　b)被測微透鏡的信息：
 

　　1)微透鏡類型；
 

　　2)制造商；
 

　　3)制造商型號；
 

　　4)序列號；
 

　　c) 測試條件：
 

　　1) 使用測試方法；
 

　　2) 測試設(shè)備：
 

　　i)接觸表面輪廓儀;制造商和型號；
 

　　ii)千分尺；制造商和型號；
 

　　iii)白光干涉儀；制造商和型號
 

　?、?激光共焦顯微鏡;制造商和型號
 

　?、?顯微鏡；制造商和型號
 

　　3) 測量參數(shù)：
 

　　i)探針半徑；
 

　　ii)儀器速度；
 

　　iii)采樣頻率；
 

　　iv)采樣長度；
 

　?、?測量物鏡及目鏡倍率
 

　　4) 測量時的環(huán)境條件：
 

　　i)溫度；
 

　　ii)相對濕度。
 

　　d) 測試結(jié)果：
 

　　1)間距；
 

　　2)表面浮雕深度；
 

　　3)物理厚度；
 

　　4)曲率半徑；
 

　　5)面型精度；
 

　　6)表面粗糙度；
 

　　7)填充因子；
 

　　8)不確定表。
 

　　更多詳情請見附件。