序號 | 校準項目 | 主要校準設備 |
1 | 外觀及性能 | 目視 |
2 | 檢定儀平臺表面粗糙度 | 表面粗糙度比較樣塊 |
3 | 檢定儀平臺直線度 | 分辨力0.01mm/m 的電子水平儀或 |
4 | 示值誤差 | 玻璃線紋尺 U95=(1.4+1.4L) μm |
5 | 重復性 | 玻璃線紋尺U95=(1.4+1.4L) μm |
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