用途:
       本司自行設(shè)計、制作的XQ60-G1型便攜式激光平面干涉儀近期己完成樣機的總裝與調(diào)試。該儀器的投放市場限度地減輕了操作人員的工作強度;更適用于大批量生產(chǎn)的檢驗;配以計算機可直接將被檢測鏡面的原始資料通過計算機保存和傳輸,以達到資料存檔及遠程監(jiān)控、驗收評定質(zhì)量的目的,是國產(chǎn)激光平面干涉儀產(chǎn)業(yè)新的發(fā)展。 
技術(shù)參數(shù):
標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),工作直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),工作直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
準(zhǔn)直系統(tǒng) ——————————————— 工作直徑Φ60mm,焦距f=200mm