自動(dòng)RTP快速升溫管式爐BTF-1200C-RTP-180-安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	否

自動(dòng)RTP快速升溫管式爐BTF-1200C-RTP-180

開啟式RTP快速升溫管式爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用*制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)分離，爐體上下兩半設(shè)計(jì)，可以自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層，除能夠保持其能量的低損耗，還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)，以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。采用雙管設(shè)計(jì)，是石墨烯的制作的手段，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，氣體和溫度及真空之間可以同步控制，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化工藝，配上電腦可以對(duì)溫度、真空和氣體流量實(shí)現(xiàn)控制。由于可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)化控制，對(duì)于操作和實(shí)驗(yàn)的重復(fù)性會(huì)非常有幫助。該設(shè)備是實(shí)驗(yàn)室*的一款設(shè)備。

自動(dòng)RTP快速升溫管式爐BTF-1200C-RTP-180

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目	主要技術(shù)指標(biāo)	數(shù)據(jù)
規(guī)格型號(hào)	BTF-1200C-RTP-180
溫度控制	溫度點(diǎn)	1200℃
	額定溫度	1100℃
	穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍	100～1050℃
	溫度測(cè)量精度	±0.2℃
	溫度控制重復(fù)性	±1℃
	溫度控制精確度	±1℃
	溫場(chǎng)均勻性	±2℃
	溫度狀態(tài)工藝時(shí)間	2～100（100～1050℃）
	升溫速率	30℃/S（可根據(jù)客戶需求定制）
	降溫速率	1～300，可以采用打開爐體降溫或移除爐管降溫同時(shí)啟動(dòng)流量計(jì)閥控控制氣體冷卻
	溫度控制模式	智能模糊全閉環(huán)控制
	觸摸屏尺寸	7"LCD 工控電腦
物理指標(biāo)	大功率（KW）	24
	額定電壓	220V/AC380～400V 50-60HZ 自動(dòng)匹配
	傳感器類型	K型
	反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸	Φ180×580
	式樣有效空間	6''
	抽氣端口尺寸	KF25
	供氣口尺寸	Φ6mm雙卡套
	冷卻方式	自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2）
	外形凈尺寸	長(zhǎng)920×深500×高560mm
	重量	約80Kg