1.什么是質量流量計？什么是質量流量控制器？
   大家可能會經(jīng)?？吹?，有些地方說質量流量計，有些地方說質量流量控制器。其實，這是有區(qū)別的。
     質量流量計，即Mass Flow Meter（MFM ）， 是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。
     質量流量控制器， 即Mass Flow Controller （MFC ），不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置，是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
     簡單來說，質量流量計只測量不控制。而質量流量控制器，則帶有控制閥門，既可以測量也可以控制氣體流量大小。

2.怎么理解質量流量計 / 質量流量控制器的流量單位？
     氣體質量流量單位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標準毫升）和SLM（Standard Liter per Minute，每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之處。      
     對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位 時間內流過介質的質量（如g/min），這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù)，可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干SLM）即可實現(xiàn)。所以說，在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質量流量

浮子。浮子流量計，又稱轉子流量計、金屬轉子流量計、成豐玻璃轉子流量計，是變面積式流量計的一種。在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管內自由地上升和下降。浮子流量計是僅次于差壓式流量計應用范圍廣的一類流量計，特別在小、微流量方面有舉足輕重的作用。

(6) 可靠性、精度等級不高(一般為1.5～2.5級左右)，重復性差。(7) 使用壽命短(一般精度只能保證一年)。(8) 超聲波流量計是通過測量流體速度來確定體積流量，對液體應該測量它的質量流量，儀表測量質量流量是通過體積流量乘以人為設定的密度后得到的，當流體溫度變化時，流體密度是變化的，人為設定密度值，不能保證質量流量的度。只能在測量流體速度的同時，又測量了流體密度，才能通過運算，得到真實質量流量值。(9) 價格較高。

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浮子。浮子流量計，又稱轉子流量計、金屬轉子流量計、成豐玻璃轉子流量計，是變面積式流量計的一種。在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管內自由地上升和下降。浮子流量計是僅次于差壓式流量計應用范圍廣的一類流量計，特別在小、微流量方面有舉足輕重的作用。

(6) 可靠性、精度等級不高(一般為1.5～2.5級左右)，重復性差。(7) 使用壽命短(一般精度只能保證一年)。(8) 超聲波流量計是通過測量流體速度來確定體積流量，對液體應該測量它的質量流量，儀表測量質量流量是通過體積流量乘以人為