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原子熒光光譜法是以原子在輻射能激發(fā)下發(fā)射的熒光強度進行定量分析的發(fā)射光譜分析法。根據(jù)熒光產(chǎn)生機理的不同，原子熒光的類型達到十余種，但在實際分析中主要有：

1.共振熒光
處于基態(tài)或低能態(tài)的原子, 吸收光源中的共振輻射躍遷到高能態(tài), 處于高能態(tài)的原子在返回基態(tài)或相同低能態(tài)的過程中, 發(fā)射出與激發(fā)光源輻射相同波長的熒光,這種熒光稱為共振熒光。
2.直躍線熒光
當處于基態(tài)的價電子受激躍遷至高能態(tài)（E2），處于高能態(tài)的激發(fā)態(tài)電子在躍遷到低能態(tài)（E1）（但不是基態(tài)）所發(fā)射出的熒光被稱為直躍線熒光。
3.階躍線熒光
當價電子從基態(tài)躍遷至高能態(tài)(E2)后, 由于受激碰撞損失部分能量而降至較低的能態(tài)(E1)。從較低能態(tài)（E1）回到基態(tài)（E0）時所發(fā)出的熒光稱為階躍線熒光。
4.熱助階躍線熒光
基態(tài)原子通過吸收光輻射躍遷至高能態(tài)(E2), 處于高能態(tài)的價電子在熱能的作用下進一步激發(fā), 電子躍遷至與能級E2相近的更高能態(tài)E3。當去激發(fā)至低能態(tài)（E1）（不是基態(tài)）時所發(fā)出的次級光被稱為熱助階躍線熒光。
5.敏化熒光
當受激的一種原子與第二種原子發(fā)生非彈性碰撞時, 可能把能量傳給第二種原子, 從而使第二個原子被激發(fā), 受激的第二種原子去激發(fā)過程中所產(chǎn)生的熒光叫敏化熒光。